硅晶圓的重要性以及生產(chǎn)時為何需要超純水設備?
前言:硅晶圓是現(xiàn)代微電子工業(yè)的基礎材料,對于現(xiàn)代科技的發(fā)展具有至關重要的意義。微電子技術(shù)的發(fā)展已成為信息技術(shù)、航空航天、軍事、通信、能源等眾多領域的基礎,而這一切都離不開硅晶圓的生產(chǎn)。而在硅晶圓制造工藝中還離不開一種設備的身影,那就是超純水設備。
硅晶圓的制造過程中為何需要超純水設備?
因為,硅晶圓的制造過程中,需要使用大量的水進行清洗和蝕刻。如果水質(zhì)中含有雜質(zhì),就會對硅晶圓表面造成劃痕或腐蝕,影響產(chǎn)品的質(zhì)量。超純水設備可以去除水中的微粒、有機物、無機物和其他雜質(zhì),確保水質(zhì)達到極高純度,從而保證硅晶圓的質(zhì)量。
硅晶圓生產(chǎn)中應用的超純水設備主要采用的是預處理+反滲透+EDI+混床的組合形式來制備超純水。設備具有高效低能、運行成本低,水資源利用率高、體積較小、維修量小,運行時間長等優(yōu)點。并且設備采用的EDI模塊可以避免添加任何化學品,不僅減少了化學品運輸問題,同時降低了系統(tǒng)運行費用。EDI模塊的應用不會產(chǎn)生酸堿廢液,因此不需要酸堿中和處理,這也就減少了一定的投資成本。
超純水設備不僅擁有上述的優(yōu)勢,還能夠連續(xù)穩(wěn)定地制備品質(zhì)優(yōu)良的超純水,水質(zhì)符合國家GMP認證規(guī)定標準,而且還能夠滿足各種工業(yè)用水的不同需求,應用范圍非常廣泛,可適用于電子、半導體、線路板、集成電路、精密機械的生產(chǎn)和清洗,還可以應用在食品、飲品和飲用水的制取行業(yè)中。
結(jié)論:硅晶圓作為現(xiàn)代微電子工業(yè)的基礎材料,超純水設備能夠提供高純度的水,可以有效避免因水質(zhì)問題引發(fā)的硅晶圓被劃產(chǎn)生劃痕等問題,保證了硅片的質(zhì)量和性能。因此,超純水設備是生產(chǎn)高質(zhì)量硅晶圓的必要條件。
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編輯:柒柒 技術(shù):米
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